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談?wù)効焖偻嘶馉t的常見問題及其改進(jìn)措施

更新時間:2022-03-11  |  點(diǎn)擊率:911
  快速退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。
 
  今天小編給大家講講快速退火爐常見問題及其改進(jìn)措施:
 
  1、退火溫度是否達(dá)到規(guī)定溫度。光亮退火爐一般是采取固溶熱處理,也就是人們平常所謂的“退火”,溫度范圍為1040~1120℃??梢酝ㄟ^退火爐觀察孔觀察,退火區(qū)的不銹鋼管應(yīng)為白熾狀態(tài),但沒出現(xiàn)軟化下垂。
 
  2、退火氣氛。一般都是采用純氫作為退火氣氛,氣氛純度好是99.99%以上,如果氣氛中另一部分是惰性氣體的話,純度也可以低一點(diǎn),但是不能含有過多氧氣、水汽。
 
  3、爐體密封性。光亮退火爐應(yīng)是封閉的,與外界空氣隔絕;采用氫氣作保護(hù)氣的,只有一個排氣口是通的(用來點(diǎn)燃排出的氫氣)。檢查的方法可以用肥皂水抹在退火爐各個接頭縫隙處,看是否跑氣;其中容易跑氣的地方是退火爐進(jìn)管子的地方和出管子的地方,這個地方的密封圈特別容易磨損,要經(jīng)常檢查經(jīng)常換。
 
  4、保護(hù)氣壓力。為了防止出現(xiàn)微漏,爐內(nèi)保護(hù)氣應(yīng)保持的正壓,如果是氫氣保護(hù)氣,一般要求20kBar以上。
 
  5、爐內(nèi)水汽。一方面檢查爐體材料是否干燥,初次裝爐,爐體材料要烘干;二是進(jìn)爐的不銹鋼管是否殘留過多水漬,特別管子上面如果有孔的話,千萬別漏水進(jìn)去了,要不然就把爐子氣氛全破壞了。 如果沒有出現(xiàn)這幾類問題的話開爐后應(yīng)該退20米左右的不銹鋼管就會開始發(fā)亮,是亮得反光的那種。